GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

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标准编号：GB/T 13389-2014

标准名称：掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

标准类型：推荐性

标准英文：Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped, phosphorus-doped, and arsenic-doped silicon

标准状态：现行

发布日期：2015-09-01

实施日期：2014-12-31

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H80

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 13389-1992

起草单位：有研半导体材料股份有限公司中国计量科学研究院杭州海纳半导体有限公司西安隆基硅材料股份有限公司 四川新光硅业科技有限责任公司 浙江省硅材料质量检验中心 浙江金瑞泓科技股份有限公司

起草人：孙燕 梁洪 张静 王飞尧 高英楼春兰