GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

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标准编号：GB/T 31470-2015

标准名称：俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

标准类型：推荐性

标准英文：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

标准状态：现行

发布日期：2016-01-01

实施日期：2015-05-15

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：计量学和测量、物理现象

国内标准分类号：N26

国际标准分类：17.220.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心苏州晶瑞化学有限公司 中国电子技术标准化研究院 天津中环领先材料技术有限公司

起草人：李雨辰 何秀坤 李翔 刘筠刘兵