GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

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标准编号：GB/T 32281-2015

标准名称：太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry

标准状态：现行

发布日期：2017-01-01

实施日期：2015-12-10

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040.30

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司中铝宁夏能源集团有限公司洛阳鸿泰半导体有限公司 北京合能阳光新能源技术有限公司 宁夏银星多晶硅有限责任公司 新特能源股份有限公司

起草人：薛抗美 夏根平 范占军 蒋建国 王泽林 宋高杰 肖宗杰盛之林林清香徐自亮刘国霞