GB/T 17170-2015 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

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标准编号：GB/T 17170-2015

标准名称：半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for the EL2 deep donor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy

标准状态：现行

发布日期：2016-07-01

实施日期：2015-12-10

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 17170-1997

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心中国电子材料行业协会 天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人：何秀坤 李静 张雪囡