GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

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标准编号：GB/T 32189-2015

标准名称：氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope

标准状态：现行

发布日期：2016-11-01

实施日期：2015-12-10

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 苏州纳维科技有限公司

起草人：刘争晖 钟海舰 邱永鑫 曾雄辉 徐耿钊樊英民王建峰徐科