GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

点击我下载

标准编号：GB/T 32188-2015

标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：The method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate

标准状态：现行

发布日期：2016-11-01

实施日期：2015-12-10

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院物理研究所丹东新东方晶体仪器有限公司 苏州纳维科技有限公司 北京天科合达蓝光半导体有限公司

起草人：邱永鑫 任国强 王建峰 陈小龙 徐科 赵松彬 刘争晖曾雄辉王文军郑红军