GB/T 44517-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法

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标准编号：GB/T 44517-2024

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films

标准状态：即将实施

发布日期：2025-04-01

实施日期：2024-09-29

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L59

国际标准分类：31.080.99

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

标准类别：方法

代替标准：

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