GB/T 44687-2024 超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮

该标准支持捐献，捐献成功将自动发送您的邮箱

标准编号：GB/T 44687-2024

标准名称：超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮

标准类型：推荐性

标准英文：Superabrasive products—Precision grinding wheels for semiconductor wafers

标准状态：即将实施

发布日期：2025-04-01

实施日期：2024-09-29

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：机械制造

国内标准分类号：J 43

国际标准分类：25.100.70

技术归口：全国磨料磨具标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司华侨大学江苏三晶半导体材料有限公司广东奔朗新材料股份有限公司 江苏赛扬精工科技有限责任公司 北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司 青岛高测科技股份有限公司

起草人：包华 赵延军 刘一波 邹余耀 谷春青 韩欣 牛俊凯 张良 朱亮 杨松彬 陈卫东黄国钦张秀涛陶洪亮丁玉龙李国伟叶腾飞王礼华尹玉龙

SACGB/T 44687—2024目爾次前言·…·······1范围·…·2规范性引用文件3术语和定义·：4产品分类·…···4.1晶圆边缘倒角精密磨削用砂轮（以下简称为“倒角砂轮"）4.2晶圆端面减薄精密磨削用砂轮（以下简称为“减薄砂轮"）5國产品标记········12。·。。。5.1倒角砂轮.12個·5.2减薄砂轮·12個：６黃技术要求·······12：6.1外观…··.···?12···6.2國基本尺寸极限偏差·．136.3几何公差·····15：6.4老基体粗糙度·156.5個动平衡·…··.15·6.6回转强度15個7试验方法·…·．157.1外观．．．15：·7.2個基本尺寸…．167.3關几何公差·…．：167.4基体粗糙度！177.5动平衡………..................17。················。··7.6關回转强度·…．17個8检验规则·179國标志·…···．179.1關产品标志·…．17個9.2合格证标志··179.3個外包装标志···1710內包装、运输和贮存·．1810.1關包装膚1810.2运输·····18。·10.3關贮存題18