GB/T 20175-2025 表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

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标准编号：GB/T 20175-2025

标准名称：表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

标准类型：推荐性

标准英文：Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials

标准状态：即将实施

发布日期：2026-01-01

实施日期：2025-06-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G 04

国际标准分类：71.040.40

技术归口：全国表面化学分析标准化技术委员会

主管部门：中国科学院

标准类别：方法

代替标准：GB/T 20175-2006

起草单位：清华大学中国人民公安大学中山大学 中国矿业大学（北京） 北京大学 中国工程物理研究院材料研究所

起草人：李展平 郭冲 满瀚泽 孙令辉 马静怡 周凌 伏晓国 章宇娟刘婕徐建业李芹胡小康陈建