SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范

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标准编号：SJ/T 11451-2022

标准名称：扩散炉能源消耗规范

标准状态：现行

发布日期：2022-10-19

实施日期：2022-12-31

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：电子

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：L 97

国际标准分类：27.01

技术归口：中国电子技术标准化研究院

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：修订

代替标准：SJ/T 11451—2013

起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司

起草人：李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳