SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

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标准编号：SJ/T 11552-2015

标准名称：以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

标准状态：现行

发布日期：2015-10-09

实施日期：2016-03-31

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：电子

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：H82

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：制定

代替标准：

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人：李静、何秀坤、刘兵 等