YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

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标准编号：YS/T 1060-2015

标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

标准状态：现行

发布日期：2015-04-29

实施日期：2015-09-30

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：有色金属

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040.30

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

发布部门：工业和信息化部

行业标准：制造业

制修订：制定

代替标准：

起草单位：中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人：刘新军、刘英杰、郑华荣等