SJ/T 11489-2015 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法

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标准编号：SJ/T 11489-2015

标准名称：低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法

标准状态：现行

发布日期：2015-04-29

实施日期：2015-09-30

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：电子

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：H83

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：制定

代替标准：

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人：章安辉、何秀坤、刘兵 等