GB/T 24528-2009 炭素材料体积密度测定方法
全国钢标准化技术委员会
GB/T 24529-2009 炭素材料显气孔率的测定方法
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GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
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GB/T 4061-2009 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法
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GB/T 13387-2009 硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法
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GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
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GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
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GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
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GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
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GB/T 24525-2009 炭素材料电阻率测定方法
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GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
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GB/T 1554-2009 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
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GB/T 14140-2009 硅片直径测量方法
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GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法
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GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
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GB/T 24527-2009 炭素材料内在水分的测定
全国钢标准化技术委员会
GB/T 24526-2009 炭素材料全硫含量测定方法
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GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法
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GB/T 6619-2009 硅片弯曲度测试方法
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GB/T 6620-2009 硅片翘曲度非接触式测试方法
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