DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法

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标准编号：DB53/T 500-2013

标准名称：多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法

所属地方：云南省

标准状态：废止

发布日期：2013-07-31

实施日期：2013-09-30

标准语言：中文

发布部委：云南省质量技术监督局

国内标准分类号：G 10

国际标准分类：71.040.40

技术归口：云南省质量技术监督局

标准类别：方法标准

代替标准：

起草单位：昆明冶研新材料股份有限公司

起草人：赵建为、张云晖、钱津旺、金波、亢若谷、马启坤、于晓艳、左世芳、陶明、杨红燕