DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

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标准编号：DB32/T 4378-2022

标准名称：衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

所属地方：江苏省

标准状态：现行

发布日期：2022-10-22

实施日期：2022-11-22

标准语言：中文

发布部委：江苏省市场监督管理局

国内标准分类号：B 61

国际标准分类：65.020.40

技术归口：

标准类别：无

代替标准：

起草单位：江苏省特种设备安全监督检验研究院（国家石墨烯产品质量检验检测中心（江苏））、苏州晶格电子有限公司、河南煜合科技集团有限公司、江苏华永烯科技有限公司、江南大学、无锡华鑫检测技术有限公司、中国矿业大学、烯源科技无锡有限公司

起草人：杨永强、丁海龙、区炳显、谢一麟、陈武魁、刘禹、魏宁、呼志跃、王云超、王勤生、马龙、李璐、屈晓兰、陈辉、秦继恩