GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
标准编号：GB/T 16524-1996
标准名称：光掩模对准标记规范
标准类型：推荐性
标准英文：Specification for registration marks for photomasks
标准状态：现行
发布日期：1997-05-01
实施日期：1996-09-09
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L95
国际标准分类：31.200
技术归口：>全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：>国家标准化管理委员会
标准类别：基础
代替标准：
起草单位：中国科学院微电子中心
起草人：
需要人工协助寻找标准请加微信：msxygy666666 提供优质服务 全网查新
©下载资源版权归作者所有；本站所有资源均来源于网络，仅供学习使用，请支持正版！
©下载资源版权归作者所有；本站所有资源均来源于网络，仅供学习使用，请支持正版！
☉免责声明：本站所有标准均来自用户分享和网络收集，仅供学习与参考，请勿用于商业用途，如果损害了您的权利，请联系网站客服，我们核实后会立即删除。
