GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

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标准编号：GB/T 16527-1996

标准名称：硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

标准类型：推荐性

标准英文：Specification for photoresist/E-beam resist for hard surface photoplates

标准状态：现行

发布日期：1997-05-01

实施日期：1996-09-09

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L90

国际标准分类：31.200

技术归口：>全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：>国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：长沙韶光微电子总公司

起草人：