GB/T 5226.33-2017 机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

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标准编号：GB/T 5226.33-2017

标准名称：机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件

标准类型：推荐性

标准英文：Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

标准状态：现行

发布日期：2018-05-01

实施日期：2017-10-14

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：J09

国际标准分类：29.020

技术归口：全国工业机械电气系统标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准类别：安全

代替标准：

起草单位：中微半导体设备(上海)有限公司上海微电子装备有限公司沈阳拓荆科技有限公司中晟光电设备（上海）有限公司盛美半导体设备（上海）有限公司 北京机床研究所 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 北京七星华创电子股份有限公司 理想太阳能（上海）有限公司

起草人：李天笑 黄祖广 郭和平 沈红 孙岩 刘忠武 薛瑞娟 王海涛田保峡孙东曦潘菊凤张志强李补忠