GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

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标准编号：GB/T 34971-2017

标准名称：半导体制造用气体处理指南

标准类型：推荐性

标准英文：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

标准状态：现行

发布日期：2018-02-01

实施日期：2017-11-01

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.040.40

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：中昊光明化工研究设计院有限公司高麦仪器公司东莞市联臣电子科技有限公司上海市计量测试技术研究院 西南化工研究设计院有限公司 广东华特气体股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人：孙福楠 牛艳东 王鸿 方华 廖恒易杜汉盛陈鹰周鹏云