GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

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标准编号：GB/T 38446-2020

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

标准状态：现行

发布日期：2020-10-01

实施日期：2020-03-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L55

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：北京大学北京智芯传感科技有限公司中北大学 中机生产力促进中心 无锡华润上华科技有限公司 北京必创科技股份有限公司

起草人：张威 李海斌 夏长奉 石云波 程红兵 周浩楠 张亚婷朱悦陈得民马书嫏