GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

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标准编号：GB/T 42106-2022

标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

标准类型：推荐性

标准英文：Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

标准状态：现行

发布日期：2023-07-01

实施日期：2022-12-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：数学、自然科学

国内标准分类号：A42

国际标准分类：07.030

技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门：中国科学院

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国科学院物理研究所深圳市标准技术研究院 国家纳米科学中心

起草人：顾长志 杨海方 王益群 樊阳波 李俊杰刘前