GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
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标准编号:GB/T 42106-2022
标准名称:纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
标准类型:推荐性
标准英文:Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation
标准状态:现行
发布日期:2023-07-01
实施日期:2022-12-30
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:数学、自然科学
国内标准分类号:A42
国际标准分类:07.030
技术归口:全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门:中国科学院
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:中国科学院物理研究所深圳市标准技术研究院 国家纳米科学中心
起草人:顾长志 杨海方 王益群 樊阳波 李俊杰刘前
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