GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨

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标准编号：GB/T 32386-2015

标准名称：电子工业用气体 六氟化钨

标准类型：推荐性

标准英文：Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride

标准状态：现行

发布日期：2016-07-01

实施日期：2015-12-31

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所西南化工研究设计院有限公司上海仪盟电子科技有限公司 厦门钨业股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人：郑秋艳 江海风 林竹光 王志信 周鹏云 王占卫方兰兰方华杨仁