GB/T 44515-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

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标准编号：GB/T 44515-2024

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film

标准状态：即将实施

发布日期：2025-01-01

实施日期：2024-09-29

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L59

国际标准分类：31.080.99

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：北京自动化控制设备研究所芯联集成电路制造股份有限公司苏州大学太原航空仪表有限公司山东中康国创先进印染技术研究院有限公司北京遥测技术研究所北京晨晶电子有限公司天津新智感知科技有限公司天津大学河北初光汽车部件有限公司河南芯睿电子科技有限公司华景传感科技（无锡）有限公司 安徽奥飞声学科技有限公司 中机生产力促进中心有限公司 华润上华科技有限公司 中国航天科工飞航技术研究院 深圳市美思先端电子有限公司 西安交通大学 上海新微技术研发中心有限公司 上海芯物科技有限公司 北京大学 共达电声股份有限公司 广东润宇传感器股份有限公司

起草人：王永胜 张红宇 张菁华 孙立宁 李拉兔 刘会聪 毛志平 路文一 王志广 汤一 郑冬琛 陈得民 卢弈鹏 袁长作 陈福操 李树成 安志武李根梓苏翼张新伟邢文忠徐堃单伟中许克宇要彦清娄亮姚鹏胡晓东仲胜利侯杰王志宏