SJ/T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法

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标准编号：SJ/T 1543-2020

标准名称：电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法

标准状态：现行

发布日期：2020-12-08

实施日期：2021-03-31

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：电子

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：L 90

国际标准分类：31.03

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：修订

代替标准：SJ/T 1543-1988

起草单位：中国电子技术标准化研究院

起草人：张旭、张理、裴会川