SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求
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标准编号:SJ/T 11762-2020
标准名称:半导体设备制造信息标识要求
标准状态:现行
发布日期:2020-12-08
实施日期:2021-03-31
标准语言:中文
发布部委:工业和信息化部
行业分类:电子
所属部委:工业和信息化部
国内标准分类号:L 95
国际标准分类:31.55
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门:工业和信息化部
行业标准:无
制修订:制定
代替标准:
起草单位:中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等
起草人:冯亚彬、程朝阳、钟华 等
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