SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

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标准编号：SJ/T 11763-2020

标准名称：半导体制造设备人机界面规范

标准状态：现行

发布日期：2020-12-08

实施日期：2021-03-31

标准语言：中文

发布部委：工业和信息化部

行业分类：电子

所属部委：工业和信息化部

国内标准分类号：L 95

国际标准分类：31.55

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

发布部门：工业和信息化部

行业标准：无

制修订：制定

代替标准：

起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳 等