GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片
标准编号：GB/T 14015-1992
标准名称：硅-蓝宝石外延片
标准类型：推荐性
标准英文：Silicon on sapphire epitaxial wafers
标准状态：现行
发布日期：1993-08-01
实施日期：1992-12-28
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：
国内标准分类号：L90
国际标准分类：
技术归口：>全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：>国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：天津半导体技术研究所
起草人：
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