GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

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标准编号：GB/T 16879-1997

标准名称：掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则

标准类型：推荐性

标准英文：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

标准状态：现行

发布日期：1998-03-01

实施日期：1997-06-20

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L97

国际标准分类：31.020

技术归口：>全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：>国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：中国科学院微电子中心

起草人：