GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法

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标准编号：GB/T 19922-2005

标准名称：硅片局部平整度非接触式标准测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning

标准状态：现行

发布日期：2006-04-01

实施日期：2005-09-19

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040.01

技术归口：工业和信息化部（电子）

主管部门：工业和信息化部（电子）

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司

起草人：