GB/T 1558-2009 硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

点击我下载

标准编号：GB/T 1558-2009

标准名称：硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption

标准状态：现行

发布日期：2010-06-01

实施日期：2009-10-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H80

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 1558-1997

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心峨嵋半导体材料厂 中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人：何秀坤 李静 段曙光梁洪