GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧

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标准编号:GB/T 14604-2009

标准名称:电子工业用气体 氧

标准类型:推荐性

标准英文:Gas for electronic industry - Oxygen

标准状态:现行

发布日期:2010-05-01

实施日期:2009-10-30

标准语言:中文

发布部委:

国际分类:化工技术

国内标准分类号:G86

国际标准分类:71.100.20

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

标准类别:产品

代替标准:GB/T 14604-1993

起草单位:中国计量科学研究院 西南化工研究设计院

起草人:周泽义 周鹏云

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