GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

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标准编号：GB/T 14141-2009

标准名称：硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array

标准状态：现行

发布日期：2010-06-01

实施日期：2009-10-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H80

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 14141-1993

起草单位：宁波立立电子股份有限公司信息产业部专用材料质量监督检验中心 南京国盛电子有限公司

起草人：李慎重 许峰 马林宝 何秀坤 刘培东谌攀