GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢
标准编号：GB/T 14851-2009
标准名称：电子工业用气体 磷化氢
标准类型：推荐性
标准英文：Gas for electronic industry - Phosphine
标准状态：现行
发布日期：2010-05-01
实施日期：2009-10-30
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：GB/T 14851-1993
起草单位：中国计量科学研究院大连光明化工研究院 西南化工研究设计院
起草人：周泽义 孙福楠 周鹏云
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