GB/T 26070-2010 化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

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标准编号：GB/T 26070-2010

标准名称：化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Characterization of subsurface damage in polished compound semiconductor wafers by reflectance difference spectroscopy method

标准状态：现行

发布日期：2011-10-01

实施日期：2011-01-10

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040.99

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国科学院半导体研究所

起草人：陈涌海 赵有文 提刘旺王元立