GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢

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标准编号：GB/T 26250-2010

标准名称：电子工业用气体 砷化氢

标准类型：推荐性

标准英文：Gases for electronic industry - Arsine

标准状态：现行

发布日期：2011-05-01

实施日期：2011-01-14

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：西南化工研究设计院光明化工研究设计院 上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人：孙福楠 方华 周鹏云庄鸿涛