GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

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标准编号：GB/T 29505-2013

标准名称：硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

标准状态：现行

发布日期：2014-02-01

实施日期：2013-05-09

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H80

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：有研半导体材料股份有限公司 中国有色金属工业标准计量质量研究所

起草人：孙燕 李莉 向磊 卢立延翟富义