GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

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标准编号：GB/T 29557-2013

标准名称：表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

标准类型：推荐性

标准英文：Surface chemical analysis - Depth profiling - Measurment of sputtered depth

标准状态：现行

发布日期：2014-03-01

实施日期：2013-07-19

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G04

国际标准分类：71.040.40

技术归口：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中山大学中国科学院大连化学物理研究所 浙江大学

起草人：陈建 张训生 张卫红 盛世善 谢方艳龚力