GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷

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标准编号：GB/T 15909-2017

标准名称：电子工业用气体 硅烷

标准类型：推荐性

标准英文：Gas for electronic industry—Silane

标准状态：现行

发布日期：2017-12-01

实施日期：2017-05-31

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 15909-2009

起草单位：西南化工研究设计院有限公司广东华特气体股份有限公司高麦仪器公司大连大特气体有限公司上海计量测试研究院江苏中能硅业科技发展有限公司南京亚格泰新能源材料有限公司安徽省滁州市硅谷特种气体有限公司 浙江赛林硅业有限公司 中昊光明化工研究设计院有限公司 天津长芦华信化工股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 化工气体质检中心 浙江中宁硅业有限公司 浙江大学

起草人：余京松 杨智敏 孙福楠 牛艳东 曲庆 方华 刘晓霞 周延江 傅铸红杜汉盛李长富周朋云陈鹰常侠高平洲徐昕