GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

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标准编号：GB/T 34899-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

标准状态：现行

发布日期：2018-05-01

实施日期：2017-11-01

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L55

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中北大学 中机生产力促进中心

起草人：石云波 唐军 李海斌 朱悦 程红兵崔建功