GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

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标准编号：GB/T 36646-2018

标准名称：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

标准类型：推荐性

标准英文：Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy

标准状态：现行

发布日期：2019-01-01

实施日期：2018-09-17

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L95

国际标准分类：31.220

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司 中国电子技术标准化研究院

起草人：刘鹏 孙永健 王健辉 丁晓民冯亚彬