GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝
标准编号：GB/T 36653-2018
标准名称：电子级三甲基铝
标准类型：推荐性
标准英文：Electronic grade trimethylaluminium
标准状态：现行
发布日期：2019-01-01
实施日期：2018-09-17
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：化工技术
国内标准分类号：G86
国际标准分类：71.100.20
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司 中国电子技术标准化研究院
起草人：陈化冰 孙明璐 王香曹可慰
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