GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

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标准编号：GB/T 19921-2018

标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces

标准状态：现行

发布日期：2019-07-01

实施日期：2018-12-28

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 19921-2005

起草单位：有研半导体材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司有色金属技术经济研究院 上海合晶硅材料有限公司 南京国盛电子有限公司 天津市环欧半导体材料技术有限公司

起草人：孙燕 刘卓 张海英 骆红 张雪囡 冯泉林徐新华刘义杨素心