GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

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标准编号：GB/T 26068-2018

标准名称：硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method

标准状态：现行

发布日期：2019-11-01

实施日期：2018-12-28

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 26068-2010

起草单位：有研半导体材料有限公司中国计量科学研究院广州市昆德科技有限公司天津市环欧半导体材料技术有限公司 瑟米莱伯贸易（上海）有限公司 浙江省硅材料质量检验中心 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 北京合能阳光新能源技术有限公司

起草人：曹孜 孙燕 徐红骞 高英 王昕 张雪囡 肖宗杰 黄黎赵而敬石宇楼春兰林清香刘卓