GB/T 37416-2019 洁净机器人通用技术条件

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标准编号：GB/T 37416-2019

标准名称：洁净机器人通用技术条件

标准类型：推荐性

标准英文：General specifications of clean-room robot

标准状态：现行

发布日期：2019-12-01

实施日期：2019-05-10

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：机械制造

国内标准分类号：J28

国际标准分类：25.040.40

技术归口：全国机器人标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：沈阳新松机器人自动化股份有限公司中国科学院沈阳自动化研究所大连理工大学中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司北京北方华创微电子装备有限公司 北京机械工业自动化研究所有限公司 东北大学 沈阳芯源微电子设备有限公司 北京锐洁机器人科技有限公司

起草人：徐方 邹风山 王金涛 唐忠华 张锋 秦修功 洪旭东 刘在行 尹作重李志海谭学科边弘晔吴成东丛明