GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

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标准编号：GB/T 38341-2019

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments

标准状态：现行

发布日期：2020-04-01

实施日期：2019-12-31

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L55

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：东南大学佛山市川东磁电股份有限公司浙江博亚精密机械有限公司无锡华润上华科技有限公司中北大学北京必创科技股份有限公司 华为技术有限公司 中机生产力促进中心 沈阳国仪检测技术有限公司 北京大学 中国科学院电子学研究所

起草人：王磊 黄创君 朱悦 夏长奉 石云波 李海斌 张威 程逸轩 于振毅陆学贵黄庆安龙克文肖昆辉郑凤杰马书嫏陈得民