GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

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标准编号：GB/T 38614-2020

标准名称：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

标准类型：推荐性

标准英文：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

标准状态：现行

发布日期：2020-11-01

实施日期：2020-04-28

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：综合、术语学、标准化、文献

国内标准分类号：N10

国际标准分类：01.040.39

技术归口：全国电子测量仪器标准化技术委员会

主管部门：工业和信息化部（电子）

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：沈阳建筑大学广东工业大学苏州昊通仪器科技有限公司 三英精控（天津）仪器设备有限公司 中国计量科学研究院 沈阳理工大学

起草人：须颖 戴敬 施玉书 贾静 石怀涛 邵萌安冬戴超文杰