GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

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标准编号：GB/T 38976-2020

标准名称：硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method

标准状态：现行

发布日期：2021-06-01

实施日期：2020-07-21

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：有研半导体材料有限公司有色金属技术经济研究院厦门银固美能源科技有限公司 上海合晶硅材料有限公司 北京聚睿众邦科技有限公司

起草人：王永涛 孙燕 任丹雅 赵志婷 陆敏 林兴乐 徐新华胡金枝蔡丽艳杨素心