GB/T 1551-2021 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

该文档还未正式上传请联系人工客服处理

人工代下载标准请加微信：msxygy666666 提供各种标准,您需要什么就提供什么,2元1份。

标准编号：GB/T 1551-2021

标准名称：硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method

标准状态：现行

发布日期：2021-12-01

实施日期：2021-05-21

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 1551-2009

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所有研半导体材料有限公司青海芯测科技有限公司乐山市产品质量监督检验所亚洲硅业（青海）股份有限公司开化县检验检测研究院青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司 广州市昆德科技有限公司 浙江海纳半导体有限公司 中国计量科学研究院 浙江金瑞泓科技股份有限公司 南京国盛电子有限公司 义乌力迈新材料有限公司

起草人：刘立娜 刘兆枫 杨素心 孙燕 梁洪 潘金平 李慎重 潘文宾 皮坤林 何烜坤刘刚高英王昕楼春兰宗冰蔡丽艳王志强